MEMS光纤压力传感器压力膜片的仿真与分析

• 作者: 刘光辉 李小亭 潘亚涛 祝彦
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 圆形膜片 光纤压力传感器 有限元分析 修正模型
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 物理科学
• 页码范围: 132-136
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 2548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2020.02.004

摘要

阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理,在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上,推导了膜片应力、应变和固有频率三者随传感器尺度变化的一般规律.利用有限元分析软件ANSYS对推演出的规律仿真模拟和分析,验证了此规律的正确性和普适性,同时修正分析模型,总结了理论公式与实际应用之间的联系与区别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小亭	河北大学质量技术监督学院	67	445	12.0	18.0
2	祝彦	河北大学质量技术监督学院	6	49	4.0	6.0
6	潘亚涛	河北大学质量技术监督学院	1	0	0.0	0.0
7	刘光辉	河北省保定市交通运输局公路设备维护处	1	0	0.0	0.0