Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究

• 作者: 字张雄 李佳潞 杜英华 潘攀 蔡军 贾萌 陈辑
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声喷涂 折叠波导 薄膜衰减材料 振荡
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与实验
• 页码范围: 44-47,63
• 页数: 5页
• 分类号: TM924.76
• 字数: 1975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.02.10

摘要

为抑制行波管振荡,本文研究了用超声喷涂技术制备衰减材料薄膜的方法.测试结果表明,超声喷涂法制备的衰减材料薄膜与手工涂覆相比,驻波比降低了16.3％,平均成膜厚度差减小了0.014 mm.因此采用超声喷涂技术重复性和稳定性更好,浆料利用率高,薄膜衰减材料表面均匀且颗粒分散性良好,具有更小的驻波比和反射系数,可在折叠波导中实现批量化生产.