阴极电弧离子镀膜技术的进步

• 作者: 王福贞
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 阴极电弧离子镀 冷场致弧光放电 硬质膜层 弧光放电氩离子清洗技术
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 特约综述
• 页码范围: 87-95
• 页数: 9页
• 分类号: O484
• 字数: 6869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.02.001

摘要

阴极电弧离子镀膜技术是国内外沉积工模具硬质膜层的主要技术.在高新技术产品和高端制造业需求的推动下,阴极电弧离子镀膜技术得到了长足的进步.本文介绍了阴极电弧离子镀膜技术的原理和特点,重点分析了阴极电弧源、硬质膜层性能和工件清洗技术等方面的进展,并对未来的发展进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福贞		6	24	2.0	4.0