快排清洗槽中节水阀的应用分析

• 作者: 刘建民 赵宏亮 边晓东 高津平
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆清洗 节水阀 QDR
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 环保节能
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TH134
• 字数: 2465字
• 语种: 中文

摘要

在晶圆的清洗洁净过程中,利用快速排水清洗槽进行快速排水清洗法是比较常见的一种晶圆清洗方式.快速排水清洗法是先将晶圆完全浸泡于快速清洗槽的去离子水中,再快速排除清洗槽中的去离子水,用于达到清洗晶圆的目的.现有的清洗设备中,当完成对晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源.本文针对这一问题,提出了一种适用于该类工艺流程的节水阀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏亮	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
2	边晓东	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
3	刘建民	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0
4	高津平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	1	1.0	1.0