晶圆测量系统的设计与有限元分析

• 作者: 王均涛
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 关键词: 晶圆测量 检测平台 光谱共焦 重复测量精度
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 字数: 1837字
• 语种: 中文

摘要

本文设计了一种晶圆测量系统,主要由大理石基座、测量平台、大理石横梁、上测头机构、下测头机构和一对共焦位移传感器等部件组成;对测量平台、上、下测头支架等结构进行了有限元分析和校核,满足设计要求;并进行了样机重复精度测试,测得THK的重复精度±0.3μm、Warp的重复精度±0.2μm、Bow的重复精度±0.2μm、TTV的重复精度±0.5μm,重复精度完全达到实际测量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王均涛		1	0	0.0	0.0