基于选择性抽气原理的超灵敏检漏方法分析

• 作者: 丁栋 冯天佑 孙雯君 成永军 赵澜 陈联
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 超灵敏检漏 超高真空材料处理 选择性抽气 静态累积比较法
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TB774
• 字数: 4929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.02.006

摘要

随着科研生产对仪器设备精密程度与长寿命要求的不断提高,对超灵敏检漏需求的不断增加,氦质谱检漏仪已无法完全满足要求.利用超高真空材料处理降低本底氦信号,采用非蒸散型吸气剂泵选择性抽气实现静态真空的维持,运用静态累积比较法放大被检件的氦信号,实现了对10-13～10-15 Pa·m3/s极小漏率的检测.依据改进方案设计的超灵敏检漏仪和极小气体流量校准装置,为航空航天、核工业等多家单位的产品提供了可靠性保证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈联	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	24	56	4.0	6.0
2	丁栋	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	10	16	2.0	3.0
3	成永军	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
4	赵澜	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	14	25	3.0	4.0
5	孙雯君	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	34	4.0	5.0
6	冯天佑	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	6	5	2.0	2.0