大相对口径离轴凸抛物面检测方法研究

• 作者: 刘晨凯 吕敏 孙东起 李昭阳 胡明勇 赵础矗
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 离轴凸抛物面 工艺球面补偿检测 离轴Hindle球检测 高精度检测
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 287-293
• 页数: 7页
• 分类号: O435.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2020.03.005

摘要

大相对口径离轴凸抛物面镜的加工检测是光学加工检测的重要挑战之一.结合一块口径为φ100 mm、离轴量为87.5 mm、曲率半径为500 mm的大相对口径离轴凸抛物镜,计算出母镜加工修磨量,并提出一种工艺球面补偿检测和离轴Hindle球检测相结合的检测方法,有效地避免了单独使用一种检测方法的缺陷,节约了加工成本并进一步提高了检测精度.最终加工完成的大相对口径离轴凸抛物面镜精度均方根(RMS)优于λ/40(λ=632.8 nm),表明该方法具有可行性,可广泛用于实际生产加工中.