化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究

• 作者: 刘晓华 宋姿霖 张鹏飞 李冬旭 杨海 田智瑞 蒋立朋 袁琴 郭立 魏乃光 黎建明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积法(CVD) ZnSe 缺陷
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 152-157
• 页数: 6页
• 分类号: TN213
• 字数: 2565字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了ZnSe晶体的制备方法及其重要应用背景,系统地总结了化学气相沉积法(CVD)制备ZnSe过程中产生的各类缺陷,包括云雾、孔洞和微裂纹、夹杂、分层和胞状物.采用SEM、体视显微镜、金相显微镜、傅里叶光谱仪等方法对缺陷进行了表征.结合国内外文献和检测结果,对各类缺陷可能的产生机理及抑制方法进行了阐述与分析.