CVD涂层α-AI2O3织构制备技术研究

• 作者: 陈艺聪
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: CVD涂层 α-Al2O3 织构
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与工艺
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TG501|TH161
• 字数: 1781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2020.02.018

摘要

采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同织构择优的α-Al2O3涂层,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对其微观组织和机械性能进行分析.研究结果表明,通过改善过渡层的氧化气氛,氧化铝的过渡层结构为针状物,成功制备不同织构的氧化铝涂层,涂层结合力良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈艺聪		6	7	2.0	2.0