基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
PVD、CVD涂层行业发展了多年,出现了多种等离子体和高能束辅助技术,但常用的工业涂层却集中在少数几种材料上,如金属氮化物、碳膜等.本文从材料的成分宽容性、结构稳定性、导电性三个基本原则出发,解释了薄膜材料的选材问题,并以氮化钛、非晶硼化物、金属掺杂类金刚石涂层为例,说明薄膜材料的选择源自工艺特性和材料性能二者的平衡,且以工艺性为主导.材料成分需要进行精确调控,以达到最佳的工艺性与性能的匹配,而成分根源是化学近程序结构,通过引入本课题组所提出并发展的团簇加连接原子模型,构建出类似于分子式的局域结构单元和相应成分式,进而对薄膜材料进行成分设计.
推荐文章
锡钛酸钡薄膜材料的研究现状
锡钛酸钡(BTS)
薄膜
铁电
LDHs基气体阻隔薄膜材料的研究进展
纳米材料
气体阻隔
复合材料
结构设计
组装方法
性能强化
低介电常数聚酰亚胺薄膜材料的研究进展
聚酰亚胺薄膜
低介电常数
结构改性
本征结构
多孔结构
薄膜涂层材料--聚对二甲苯
聚对二甲苯
涂层
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 薄膜的材料特征
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 薄膜材料 成分设计 氮化钛 非晶硼化物 金属掺杂类金刚石 团簇加连接原子模型
年,卷(期) 2020,(4) 所属期刊栏目 薄膜
研究方向 页码范围 11-18
页数 8页 分类号 TB43|O484.1|TH145
字数 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.03
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 董闯 198 2023 23.0 34.0
3 马艳平 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 9 26 4.0 5.0
5 张爽 1 0 0.0 0.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (28)
共引文献  (1)
参考文献  (37)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1932(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1934(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1935(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1950(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1954(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1958(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1960(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1970(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1971(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1973(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1978(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1980(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1981(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1984(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1986(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1987(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1989(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1990(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1993(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1995(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1996(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2000(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2002(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2005(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2006(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2007(3)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(1)
2009(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2010(5)
  • 参考文献(4)
  • 二级参考文献(1)
2011(4)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(3)
2013(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2014(5)
  • 参考文献(4)
  • 二级参考文献(1)
2015(3)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(1)
2016(5)
  • 参考文献(4)
  • 二级参考文献(1)
2017(4)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(2)
2018(4)
  • 参考文献(4)
  • 二级参考文献(0)
2019(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2020(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜材料
成分设计
氮化钛
非晶硼化物
金属掺杂类金刚石
团簇加连接原子模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导