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薄膜的材料特征
薄膜的材料特征
作者:
丁万昱
张爽
董闯
马艳平
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜材料
成分设计
氮化钛
非晶硼化物
金属掺杂类金刚石
团簇加连接原子模型
摘要:
PVD、CVD涂层行业发展了多年,出现了多种等离子体和高能束辅助技术,但常用的工业涂层却集中在少数几种材料上,如金属氮化物、碳膜等.本文从材料的成分宽容性、结构稳定性、导电性三个基本原则出发,解释了薄膜材料的选材问题,并以氮化钛、非晶硼化物、金属掺杂类金刚石涂层为例,说明薄膜材料的选择源自工艺特性和材料性能二者的平衡,且以工艺性为主导.材料成分需要进行精确调控,以达到最佳的工艺性与性能的匹配,而成分根源是化学近程序结构,通过引入本课题组所提出并发展的团簇加连接原子模型,构建出类似于分子式的局域结构单元和相应成分式,进而对薄膜材料进行成分设计.
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篇名
薄膜的材料特征
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
薄膜材料
成分设计
氮化钛
非晶硼化物
金属掺杂类金刚石
团簇加连接原子模型
年,卷(期)
2020,(4)
所属期刊栏目
薄膜
研究方向
页码范围
11-18
页数
8页
分类号
TB43|O484.1|TH145
字数
语种
中文
DOI
10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.03
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
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1
董闯
198
2023
23.0
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马艳平
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金属掺杂类金刚石
团簇加连接原子模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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