基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制

• 作者: 顾宝龙 赵振平 陈浩远 潘威 张志强
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 传感器 温度测量 标定 塞贝克系数
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TB383.2|TH811
• 语种: 中文

摘要

研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器.针对航空发动机高温恶劣环境,设计了传感器的膜层结构,采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层,以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积A12O3薄膜绝缘层和保护层,采用直流磁控溅1 100℃,塞贝克系数8.26μV/℃,最大温度误差小于1％,使用寿命大于20h.该薄膜热电偶能够承受恶劣的航空发动机试验环境,显著地提高局部温度测量的精度,对涡轮叶栅的寿命预期和冷却结构设计提供了参考依据.