双层异质结碲镉汞甚长波红外焦平面探测器研究进展

• 作者: 刘世光 吴卿 周立庆 宋淑芳 田震 谭振
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 双层异质结 甚长波红外 碲镉汞 红外焦平面探测器
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN213
• 字数: 3691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2020.04.001

摘要

报道了碲镉汞甚长波红外焦平面探测器的最新研究进展.采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长了p-on-n异质结材料.基于湿法腐蚀、表侧壁钝化以及In柱互连工艺,制备了第一支台面型碲镉汞甚长波红外焦平面器件.在60 K的工作温度下,该器件的截止波长为14.28 μm,有效像元率为94.5％,平均峰值探测率为8.98×1010 cm· Hz1/2·W-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭振		13	15	3.0	3.0
2	周立庆		41	106	5.0	8.0
3	吴卿		13	6	1.0	2.0
4	刘世光		4	0	0.0	0.0
5	宋淑芳		12	56	3.0	7.0
6	田震		7	4	1.0	2.0