柔性功能薄膜辉光光谱深度分辨率分析

• 作者: 余云鹏 刘远鹏 吕凯 周刚 徐从康 王江涌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性功能薄膜 辉光放电发射光谱 原子混合-粗糙度-信息深度模型 深度分辨率
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB303
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.04.01

摘要

本文首先通过脉冲射频辉光放电发射光谱定量表征了自然生长在Si(111)基片上约1nm的SiO2膜,表明射频辉光放电发射光谱具有纳米级别的深度分辨率.随后用原子力显微镜和分光光度计对一款含有Ag层的柔性光学功能薄膜进行了表征,并利用脉冲射频辉光放电发射光谱,在不同的工作条件下对其进行了深度剖析.最后利用原子混合-粗糙度-信息深度模型对所测量的Ag深度谱进行了定量分析,获得了不同测量条件下Ag深度谱的深度分辨率,由此确定了最佳的脉冲射频辉光放电发射光谱工作条件,对获得柔性功能薄膜高分辨率深度谱具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余云鹏	汕头大学物理系	27	230	8.0	14.0
2	周刚	汕头大学物理系	1	0	0.0	0.0
3	吕凯	汕头大学物理系	1	0	0.0	0.0
4	刘远鹏		1	0	0.0	0.0
5	徐从康	汕头大学物理系	2	0	0.0	0.0
6	王江涌	汕头大学物理系	22	34	3.0	4.0