高温I TO薄膜应变计制备及压阻性能

• 作者: 丁桂甫 姚锦元 张丛春 李红芳 杨伸勇 杨卓青 汪红 黄漫国
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: ITO薄膜应变计 热处理 高温应变测量 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 145-150
• 页数: 6页
• 分类号: V241.7|TN389
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2018.000875

摘要

高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量.IT O薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜.结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16.IT O薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能.