含籽晶石英晶组的压电效率研究

• 作者: 任宗金 张军 王炳 韩煜
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 籽晶 晶组 压电传感器 压电效应
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 18-20,25
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TH823
• 字数: 2074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)06-0018-03

摘要

压电传感器应用于大量矢量力测试场合,石英晶片组成的晶盒是压电传感器核心部件.晶盒由不同切型石英晶片和电极片通过一定的排布方式组成,因此石英晶片的压电性能是压电传感器研究基础.以含有籽晶的石英晶片组成的晶组的力-电转换性能为研究重点,基于光学显微拍摄分析,通过对X0°及Y0°切型籽晶晶片组成的晶组进行静态试验,得到不同类型晶组的输出特性及运用晶体物理学压电理论基础和弹性力学基础推导出籽晶晶体正压电效应矩阵.本文研究为籽晶晶片应用于压电传感器提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军	大连理工大学机械工程学院	87	876	15.0	27.0
2	任宗金	大连理工大学机械工程学院	28	133	6.0	11.0
3	韩煜	大连理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0
4	王炳	大连理工大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0