微波功率器件中AuGe合金焊接界面特征

• 作者: 刘峰 李晔 杨春容 陈杰 饶真真 黄新临
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金锗合金 金属间化合物(IMC) 共晶 界面反应 元素扩散
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.013

摘要

在微观尺度上,焊点的可靠性取决于焊料同焊盘之间界面反应生成的界面金属间化合物(IMC)的结构.通过金锗合金焊点的界面反应及微观结构随环境的变化表征了焊点的可靠性,研究了AuGe合金焊料与不同金层厚度的Ni/Au焊盘共晶焊接后其界面特征,同时总结了AuGe合金焊料在Cu和Ni等常见焊盘上的焊接润湿性及其焊接界面特征.切片分析结果显示,在共晶焊接后,厚金样品焊接界面冷却时焊料层析出富Au相形成不规则焊接结合层,Au层厚度减薄50％～60％;薄金样品的Au层全部消失,并在界面处形成很薄的一层富Ni的NiGe化合物.实验结果显示,厚Au层样品未出现Ni向焊接层扩散的现象和NiGe化合物的生成,厚Au层起到了阻挡层作用;薄金样品时,Ni通过互扩散缓慢与Ge形成NiGe化合物,在长期使用中焊接层会通过元素扩散等形式演变,使整个焊接层转变为含氧化层、富P层、NiGe层和AuCuGe合金层等多层结构的IMC,降低了焊点强度,严重影响焊接层可靠性.这说明IMC在焊接过程中主要以界面化学反应方式形成,服役过程中主要以元素扩散方式演变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈杰		6	2	1.0	1.0
2	刘峰		1	0	0.0	0.0
3	饶真真		1	0	0.0	0.0
4	杨春容		1	0	0.0	0.0
5	李晔		1	0	0.0	0.0
6	黄新临		2	1	1.0	1.0