等离子体工艺对PDMS褶皱断纹的影响

• 作者: 刘杰 李孟春
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米颗粒 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 褶皱 自组装 等离子体 断纹
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 73-79
• 页数: 7页
• 分类号: TQ311
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.012

摘要

一维聚二甲基硅氧烷(PDMS)褶皱可用于纳米颗粒自组装模板,具有制备工艺简单、成本低、适合大面积制备的优点,因而引起人们的广泛关注.然而,采用机械拉伸释放法形成褶皱的过程中会出现大量的断纹,进而影响褶皱模板的周期性.从断纹形成机理出发,将PDMS样品制备、机械拉伸及电机释放过程的工艺条件保持不变,通过调整等离子体产生的工艺参数来改善断纹.实验结果表明:气压和功率是影响褶皱断纹的主要因素,减小气压和减小功率可以使同周期褶皱断纹分别减少46.6％和26.6％.研究结果为制备不同周期的高质量PDMS褶皱模板提供实际参考,有利于其在自组装模板中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李孟春	太原理工大学物理与光电工程学院	17	44	4.0	6.0
2	刘杰	太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室	11	17	2.0	3.0