基于波长移相剪切干涉的准直波前重构技术

• 作者: 单小琴 朱日宏 韩志刚
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 横向剪切 波长移相 角锥
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 光电信息获取与处理
• 页码范围: 67-73
• 页数: 7页
• 分类号: TN206|O436
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO202041.0102001

摘要

为了实现干涉仪出射准直波前的重构,提出了基于波长调谐移相的横向剪切干涉技术.干涉仪出射波前分别经楔板的前后表面反射,通过角锥棱镜返回后在干涉仪CCD上形成剪切干涉条纹.采用波长移相方法提取剪切干涉条纹的相位信息从而实现准直波前重构.分析相对剪切比对波面重构精度的影响,推导相对剪切比和其影响因素间的关系公式,给出波长移相中光程差常数分量的估算方法.测量干涉仪的三组出射波前,波前的峰谷值分别为3.22λ、2.10λ、0.83λ.该方法简化了传统测量干涉仪准直波前的横向剪切干涉装置,提高了测量精度,特别适合于测量波长移相干涉仪的出射波前.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱日宏	南京理工大学电子工程与光电技术学院	129	1152	16.0	28.0
2	韩志刚	南京理工大学电子工程与光电技术学院	17	79	5.0	8.0
3	单小琴	南京理工大学紫金学院	5	15	2.0	3.0