双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺

• 作者: 孙晓凯 张福庆 田凤美 胡明强 靳迎松
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池 背面效率 双面率 背钝化 双面减反射膜
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体制造技术
• 页码范围: 312-316
• 页数: 5页
• 分类号: TM914
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.04.011

摘要

基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究.采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池.提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响.测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiNx膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96％和68.69％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张福庆		2	0	0.0	0.0
2	靳迎松		3	0	0.0	0.0
3	孙晓凯		1	0	0.0	0.0
4	田凤美		1	0	0.0	0.0
5	胡明强		1	0	0.0	0.0