全光纤声光调制径向跳动差分测量技术研究

• 作者: 宋华峣 张守宇 曹泉泉 王辉林 秦正健
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 全光纤光路 声光调制 差分测量 不确定度
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.009

摘要

为了实现机床在加工状态下主轴径向跳动非接触、高精度的测量,采用光外差法光路的激光多普勒差分检测方法,进行了理论分析和实验验证.直接耦合和透镜耦合的全光纤光路的应用,降低了布喇格衍射光路的调节难度,提高了测量分辨率和抗干扰能力,减小了噪声;光纤分光器实现了同一轴线上的差分测量,抑制了因测量光路本身的振动带来的干扰.得到了相对误差为0.0838％的主轴径向跳动测量结果,实现了纳米级跳动误差测量.结果表明,系统的相对误差和测量不确定度均小于0.1％.该研究对主轴径向跳动的实时测量有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉林	山东理工大学仪器科学与技术系	41	139	7.0	9.0
2	张守宇	山东理工大学仪器科学与技术系	4	0	0.0	0.0
3	秦正健	山东理工大学仪器科学与技术系	4	0	0.0	0.0
4	宋华峣	山东理工大学仪器科学与技术系	4	0	0.0	0.0
5	曹泉泉	山东理工大学仪器科学与技术系	4	0	0.0	0.0