机械振动应力下IMU内MEMS传感器的抗振研究

• 作者: 刘玉县 张谦 李宾 王晓初 范耀华 郭帅良
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性测量单元 微机电系统(MEMS)传感器 双自由度 增强抗振 加速度计带宽 MATLAB仿真
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)06-0033-04

摘要

针对惯性测量单元(IMU)内部微机电系统(MEMS)传感器粘固在印刷电路板(PCB)上,外界载体产生的机械振动使其受迫振动,长时间作用会引发传感器机械疲劳、结构断裂以及性能退化等问题,根据结构动力学原理,分析双自由度系统模型,并运用MATLAB软件进行仿真,以找出影响因素及其设定范围;同时,保证在加速度计带宽范围内的信号1:1传递给加速度计.研究结果表明:载体机械振动信号在10 kHz范围内时,适当降低陀螺仪和加速度计的品质因数,PCB的固有频率保持在1kHz以内以及其品质因数不大于10,可有效降低振动应力对传感器的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓初	广东工业大学广东省计算机集成制造重点实验室	44	277	9.0	15.0
2	刘玉县		10	4	1.0	1.0
3	张谦	广东工业大学广东省计算机集成制造重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	郭帅良	广东工业大学广东省计算机集成制造重点实验室	3	1	1.0	1.0
5	李宾	广东工业大学广东省计算机集成制造重点实验室	3	1	1.0	1.0
6	范耀华	广东工业大学广东省计算机集成制造重点实验室	2	1	1.0	1.0