P型外延电阻率表面态的研究

• 作者: 仲张峰 尤晓杰 杨帆 潘文宾 王银海 葛华 韩旭
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: P型 表面态 纵向载流子分布(SRP) 电负性
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 3175字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0311

摘要

P型硅外延材料是制备微波功率器件的关键基础材料,其电阻率的一致性直接影响器件的性能和可靠性.研究通过对Si、N、B3种元素进行电负性对比,结合P型外延片电容-电压法(CV法)测试波动和纵向载流子分布(SRP)比较分析,确定了造成P型外延电阻率波动的主要原因,并通过对表面态的控制找到解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆		9	11	2.0	3.0
2	潘文宾		3	0	0.0	0.0
3	王银海		7	4	1.0	2.0
4	仲张峰		2	1	1.0	1.0
5	尤晓杰		2	1	1.0	1.0
6	韩旭		1	0	0.0	0.0
7	葛华		1	0	0.0	0.0