355 nm全固态紫外激光加工玻璃通孔工艺

• 作者: 单存良 李奇思 李志强 李永伟 梁庭 王文涛 雷程
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外激光 玻璃通孔 激光加工 3D垂直封装 单一变量法
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 59-65
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.010

摘要

玻璃通孔结构广泛应用于光通信、微电子机械系统(MEMS)封装、芯片三维垂直集成等领域.采用单一变量法详细研究了355 nm全固态紫外激光进行玻璃通孔加工时,各激光参数对通孔直径、锥度及表面质量的影响.研究结果表明,随着激光功率密度的增大,孔边缘易出现较严重的裂损现象,孔径随之增大;激光重复频率的增大将增加通孔边缘及侧壁的熔融物数量,且通孔锥度也会增加;适当降低激光扫描速度可减小通孔边缘重凝区宽度,然而扫描速度太低时,由于热累积效应打孔质量下降;适当的负离焦有利于获得垂直度高、质量良好的玻璃通孔.研究结果对使用激光加工高质量玻璃通孔的参数选取具有一定的参考价值.