微纳通道型真空漏孔研究进展

• 作者: 林文豫 王旭迪
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 真空漏孔 微纳通道 真空封装 分子流
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 真空测量与计量技术
• 页码范围: 48-54
• 页数: 7页
• 分类号: TB774
• 字数: 3575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.008

摘要

传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题.本文阐述了一维/二维微纳通道型真空漏孔的加工方法,即使用光学曝光、刻蚀工艺在硅基底上制备微纳沟槽,结合键合技术实现微纳通道密封;通过金属封装、玻璃浆料键合、毛细管连接工艺实现硅基微纳通道型真空漏孔与金属真空法兰的封装连接.该类型漏孔有望在真空计量、极小流量控制和漏率测试等方面取得应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王旭迪		40	192	9.0	12.0
2	林文豫		2	0	0.0	0.0