适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备

• 作者: 张国辉 王利卿
• 来源期刊: 电镀与环保
• 学科: 工学
• 关键词: 钯-镍合金膜层 微机电器件 孔隙率 内应力
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 电镀
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4742.2020.02.001

摘要

以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层.选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响.结果 表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率的提高,孔隙率明显降低,内应力增大;当占空比为20 ％～30％、脉冲频率为1.0 kHz时,采用脉冲电沉积方法能制备出适用于微机电器件的钯-镍合金膜层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国辉	郑州航空工业管理学院管理工程学院	42	195	8.0	12.0
2	王利卿	河南水利与环境职业学院机电与信息工程系	9	4	2.0	2.0