微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点

• 作者: 任正宜 吴成耀 孙雯君 成永军 李海涛 王佐磊 耿健 董猛 郭美如 陈江
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 微型溅射离子泵 极小抽速 精确测量
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 真空测量与计量技术
• 页码范围: 42-47
• 页数: 6页
• 分类号: TB771
• 字数: 5415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.007

摘要

抽速小于10-4 m3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10-2 m3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需.制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10-5～10-4 m3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量.在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助.