一种新型微波叶尖间隙传感器

• 作者: 谭秋林 路晓
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波传感器 叶尖间隙 嵌套式分裂环谐振器(NSRR) 氧化铝陶瓷 谐振频率
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 49-53,65
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.008

摘要

针对恶劣环境下航天发动机、涡轮机等旋转机械对叶尖间隙实时测量的需求,设计了一种用于涡轮发动机叶尖间隙测量的新型微波传感器.该传感器基于多嵌套式分裂环谐振器(NSRR)结构,将铂(Pt)金属浆料组成的闭环电路集成于高温共烧陶瓷(HTCC)中,以此来适应发动机及涡轮机内部的极端测试条件.经过仿真设计,可知传感器的工作频率为2.44 GHz,且在2.5～5 mm仿真间隙范围内最低灵敏度为8.33 dB/mm.通过传统的HTCC工艺及厚膜技术,对设计的传感器进行制备和测试,测试结果验证了仿真结果的正确性,表明该传感器能为所需应用环境提供准确可靠的数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭秋林	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	71	327	10.0	15.0
2	路晓	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0