单模直调垂直腔面发射激光器研究进展

• 作者: 刘安金
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 单模 调制速率 光子超结构
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: “半导体激光器”专题
• 页码范围: 55-70
• 页数: 16页
• 分类号: O59
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0701005

摘要

垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有尺寸小、功耗低、效率高、调制带宽大、寿命长、圆形光束、在片测试、易于二维阵列排列等优点,广泛应用于数据通信、传感、激光雷达、材料加工等领域.这些应用通常要求VCSEL具有优异的模式、速率、能效、高温性能等.人们基于“分离”限制思路发展了多种单模新型氧化限制VCSEL.采用新型VCSEL结构、改善有源区性能、减小寄生效应和减小热效应等方法,VCSEL在速率、功耗、高温性能等方面取得了显著进展.光子超结构具有优异的性能,它为VCSEL控制模式和光场,以及其和平面光子回路的集成提供了新思路.