螺杆真空泵内气体热力过程的解析计算与实验研究

• 作者: 孙坤 张世伟 张志军 张永炬 张莉 翟云飞 赵凡 韩进
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 螺杆真空泵 热力过程 返流泄漏
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 54-60
• 页数: 7页
• 分类号: TB752+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.12

摘要

本文提出了一个描述螺杆真空泵内气体级间返流泄漏量沿程分布的简化模型,基于此模型对螺杆真空泵内的气体热力过程进行深度分析,解析计算了抽气过程的吸气、压缩、输运、反冲和排气各阶段气体热力学参数随时间的变化关系.同时,组建了专门的实验测试台,并制作了采用三段式螺杆转子、泵腔侧壁带有5个压力测试孔的专用测试样泵;通过实际测试极限真空状态下的螺杆泵内沿程气体压力,间接验证了返流泄漏模型和热力学计算的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
2	张志军	东北大学机械工程与自动化学院	50	333	11.0	17.0
3	韩进	东北大学机械工程与自动化学院	37	161	8.0	11.0
4	张莉	台州学院智能制造学院	27	66	5.0	6.0
5	赵凡	东北大学机械工程与自动化学院	9	22	3.0	4.0
6	翟云飞	东北大学机械工程与自动化学院	2	0	0.0	0.0
7	孙坤	东北大学机械工程与自动化学院	7	2	1.0	1.0