基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器

• 作者: 毛海央 熊继军 王玮冰 陈大鹏 陈贵东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 湿度传感器 纳米颗粒 呼吸监测 氧等离子体亲水化处理
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 36-40,48
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.01.006

摘要

提出了一种基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度、快速响应的微电子机械系统(MEMS)湿度传感器.该湿度传感器的制备工艺简单方便、成本低廉,仅包括烛灰纳米颗粒层的沉积、烛灰纳米颗粒层表面的氧等离子体亲水化处理和金属电极的制备三个步骤.实验表明,在30％～90％相对湿度内,该MEMS湿度传感器的灵敏度高达4.17 MΩ/％RH,响应和恢复时间分别为2s和8s,同时具有较好的稳定性和重复性.此外,使用此传感器对呼吸频率进行检测,实验结果表明此湿度传感器可以精确地跟踪人的呼吸,因此所研究的湿度传感器在生物医学、环境监测等领域具有潜在应用.