真空计动态响应特性实验研究

• 作者: 习振华 孙雯君 成永军 李亚丽 李得天
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计量 动态真空校准 响应时间 时间常数
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 真空测量与计量技术
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TB772
• 字数: 2478字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.004

摘要

在工业应用中,为精确监测生产过程,真空计在极短的时间内(1 s或更短)对压力的快速变化做出响应的能力是至关重要的.采用兰州空间技术物理研究所自主研发的快速动态真空校准装置,研究了四种电容薄膜真空计和一种皮拉尼真空计的动态响应特性.分析了真空计动态真空校准过程中的标准压力建立时间、时间常数和响应时间等参数.并验证了该装置的校准能力.研究结果表明,不同的真空计在毫秒量级上跟踪压力变化的能力有明显差别.研究为真空计实现通常使用条件下的动态真空溯源奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	55	149	6.0	9.0
2	成永军	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
3	孙雯君	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	34	4.0	5.0
4	习振华	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	10	21	2.0	3.0
5	李亚丽	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	2	0	0.0	0.0