能量过滤磁控溅射技术制备Te薄膜及其光学性能研究

• 作者: 姚宁 张世慧 王朝勇 田维民 贾瑜
• 来源期刊: 郑州大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 能量过滤磁控溅射 Te薄膜 光学性质 椭圆偏振光谱仪
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 基础科学与工程技术
• 页码范围: 102-107
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6841.2019163

摘要

利用自主改进后的能量过滤磁控溅射(energy filtering magnetron sputtering,EFMS)技术制备Te薄膜,研究了沉积温度对薄膜结晶特性、表面形貌以及光学性能的影响.研究结果表明所制备的薄膜为纯Te膜.在100℃时制备出的薄膜结晶较好,表面颗粒较大且比较均匀,200℃时薄膜表面形貌发生改变,由颗粒状变为交错分布的棒状结构.200℃时制备的薄膜在红外波段的消光系数和折射率相对较小.室温制备的薄膜的平均透过率为9.1％;200℃制备的薄膜的平均透过率最大为35.4％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾瑜	郑州大学物理工程学院	54	123	6.0	7.0
2	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
3	王朝勇	河南城建学院数理学院	14	38	3.0	5.0
4	张世慧	郑州大学物理工程学院	2	3	1.0	1.0
5	田维民	郑州大学物理工程学院	1	0	0.0	0.0