平面干涉仪测立方体直角方法的研究

• 作者: 陈光 熊长新 王潺 何侃 张铉
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面干涉仪 等厚干涉 测量 方体直角 直角误差
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文

摘要

为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研究.通过理论推导建立了待测角度偏差与干涉条纹条数的关系式,同时为在线加工过程角度的修正提供理论及检测方法的指导.通过对90 mm×90 mm×90mm的立方体进行测角工艺探究,实现了用平面干涉仪对立方体直角误差的检测,以及误差正负的判断,结果表明当视场内条纹数m=5.5时,直角误差δ≤2".条纹收缩时为正误差,条纹扩散时为负误差.