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摘要:
针对高端阀门内径20mm导向套内壁DLC处理,采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规律.结果 表明:轴向对齐的五个小管内均实现了空心阴极放电,氩气条件下放电电流表现出明显空心阴极放电特征,而混合气条件下电流幅值较为平整.脉冲电压或气压的提高有利于提高放电电流,而脉冲频率的增加会使得峰值电流略有下降,脉宽的增加使得单纯氩气条件下电流峰值逐渐增加,而对于混合其他条件下的峰值电流影响不大,仅使平均电流增加.固定气压10Pa条件下,乙炔流量的变化对放电电流的影响不大,有利于扩大DLC薄膜沉积的工艺窗口范围.以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁DLC薄膜制备提供工艺基础.
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文献信息
篇名 内径20mm导向套筒内壁处理(2):空心阴极混合气体放电特性研究
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 阀门 内壁DLC 空心阴极 混合气
年,卷(期) 2020,(3) 所属期刊栏目 测量与控制
研究方向 页码范围 37-41
页数 5页 分类号 TB71+6|TB43
字数 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.09
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巩春志 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 69 320 9.0 14.0
2 田修波 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 106 515 11.0 17.0
3 岳玲 3 0 0.0 0.0
4 马玉山 19 68 5.0 8.0
5 刘海波 9 7 2.0 2.0
6 常占东 14 15 3.0 3.0
7 贾华 6 7 2.0 2.0
8 徐喜龙 1 0 0.0 0.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
阀门
内壁DLC
空心阴极
混合气
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导