内径20mm导向套筒内壁处理(2):空心阴极混合气体放电特性研究

• 作者: 刘海波 岳玲 巩春志 常占东 徐喜龙 田修波 贾华 马玉山
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 阀门 内壁DLC 空心阴极 混合气
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TB71+6|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.09

摘要

针对高端阀门内径20mm导向套内壁DLC处理,采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规律.结果 表明:轴向对齐的五个小管内均实现了空心阴极放电,氩气条件下放电电流表现出明显空心阴极放电特征,而混合气条件下电流幅值较为平整.脉冲电压或气压的提高有利于提高放电电流,而脉冲频率的增加会使得峰值电流略有下降,脉宽的增加使得单纯氩气条件下电流峰值逐渐增加,而对于混合其他条件下的峰值电流影响不大,仅使平均电流增加.固定气压10Pa条件下,乙炔流量的变化对放电电流的影响不大,有利于扩大DLC薄膜沉积的工艺窗口范围.以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁DLC薄膜制备提供工艺基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	岳玲		3	0	0.0	0.0
4	马玉山		19	68	5.0	8.0
5	刘海波		9	7	2.0	2.0
6	常占东		14	15	3.0	3.0
7	贾华		6	7	2.0	2.0
8	徐喜龙		1	0	0.0	0.0