差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试

• 作者: 冯勇建 孙雯君 成永军 李刚 李得天 柯鑫 许马会 韩晓东
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 差压式 电容薄膜真空规
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 真空测量与计量技术
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: T8771
• 字数: 1581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.002

摘要

提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案.通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化.根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试.测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性.