基于异构集成技术的FBAR开关滤波器组芯片

• 作者: 李丽 李宏军 王胜福 郭松林 钱丽勋
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片 微波单片集成电路(MMIC) 开关电路 异构集成 开关滤波器组芯片
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体集成电路
• 页码范围: 263-267
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.04.003

摘要

基于异构集成技术,研制了一款各通道中心频率分别为1.5,1.8,1.9和2.0 GHz的四通道高性能开关滤波器组芯片.使用了金锡凸点焊接的组装工艺,与键合线工艺相比,其互连强度更高,寄生参数更小.薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片与微波单片集成电路(MMIC)开关电路芯片采用自主可控的FBAR工艺、0.35 μm GaAs工艺研制.为满足窄带、高矩形度、低插入损耗开关滤波器组的需求,FBAR滤波器电路采用阶梯型拓扑结构.开关电路使用串-并联混合结构,兼顾低插入损耗和高隔离度.经探针台测试结果显示,各通道中心插入损耗小于3 dB,矩形系数比约为2.0,带外抑制大于45 dBc.开关滤波器组芯片面积为4 mm×4 mm,高度约为0.4 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宏军	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	53	5.0	7.0
2	李丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	94	6.0	9.0
3	钱丽勋	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	3	1.0	1.0
4	王胜福	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	38	4.0	6.0
5	郭松林	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0