308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究

• 作者: 代甜甜 方晓东 杨礼昭 游利兵 王宏伟 程超 陈星
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 柔性显示 准分子激光 激光剥离 聚酰亚胺薄膜
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 激光物理、材料与器件
• 页码范围: 100-107
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 字数: 4041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018

摘要

为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果,采用实验研究的方法,分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响,并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌.结果表明,激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2,在激光能量密度为180mJ/cm2～190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33％时,剥离效果较好;提高衬底温度有利于激光剥离过程.该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义.