粉末冶金Ta-Ru合金的制备及力学性能

• 作者: 李磊 王广欣 逯峙 郭帅东
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钽钌合金 粉末冶金 热压烧结 金属间化合物 力学性能
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 138-142,185
• 页数: 6页
• 分类号: TF125
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.06.023

摘要

采用粉末冶金热压烧结法制备了适用于电子互连应用的高纯钽-钌(Ta-Ru)增强复合材料.在行星式球磨机上以不同的成分配比混合高纯度微米级钽-钌粉末,并在真空热压烧结炉中在1700℃的温度和20 MPa的压力下热压烧结3 h.通过XRD、SEM、EDS、抗拉强度测试等手段,研究了在不同Ru含量下所得材料的的相组成、显微结构、密度、硬度和抗拉强度.结果表明,随着Ru含量的增加,合金中先后形成TaRu、Ta3 Ru、TaRu4等金属间化合物,材料的致密度和抗拉强度逐渐升高,显微硬度先升高后降低.随着Ru含量的增加,合金的断裂方式由解理断裂逐渐转变为了沿晶断裂和韧性断裂.