涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究

• 作者: 孙坤 张世伟 张志军 赵凡 韩峰 韩进
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 多级组合叶列 算法 传输概率 比较研究
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得技术
• 页码范围: 82-86
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 3137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.013

摘要

针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差.以1～4级组合叶列为例,采用不同模拟算法分别对传输概率、最大何氏系数和最大压缩比进行比较研究,与多级动静组合叶列算法相比,采用传统单级叶列算法对涡轮叶列的抽气性能的计算值偏大10％左右.提出的基于动静叶列多级组合算法,是对传统算法的继承和发展,为涡轮分子泵的精准设计提供了一种新的理论计算方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
2	张志军	东北大学机械工程与自动化学院	50	333	11.0	17.0
3	韩进	东北大学机械工程与自动化学院	37	161	8.0	11.0
4	赵凡	东北大学机械工程与自动化学院	9	22	3.0	4.0
5	韩峰	东北大学机械工程与自动化学院	6	16	1.0	4.0
6	孙坤	东北大学机械工程与自动化学院	7	2	1.0	1.0