退火温度对二氧化钛薄膜结构和浸润性能的影响

• 作者: 李晓敏 武英桐 王东伟 白睿 黄美东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 阳极氧化 退火温度 疏水性
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: O484.2|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.05

摘要

采用多弧离子镀技术在玻璃上沉积单质Ti薄膜,利用稳压电源对单质Ti薄膜进行阳极氧化,随后在不同温度下对其进行退火处理,研究了退火温度对TiO2薄膜结构和浸润性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、接触角测量仪分别测试薄膜样品的微观结构、表面形貌和浸润性.结果 表明:退火处理使薄膜样品由处理前的非晶态转变成晶态,随着退火温度的升高,薄膜由锐钛矿相转变为金红石相;薄膜表面依次出现了螺旋线、纳米线、团絮状结构;接触角先增大后减小.退火温度为500℃时,薄膜样品的疏水性能最好,其接触角平均值最大,为121.78°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	白睿	天津师范大学物理与材料科学学院	3	0	0.0	0.0
3	李晓敏	天津师范大学物理与材料科学学院	4	0	0.0	0.0
4	武英桐	天津师范大学物理与材料科学学院	4	0	0.0	0.0
5	王东伟	天津师范大学物理与材料科学学院	3	0	0.0	0.0