三光束激光干涉诱导向后转移制备金纳米结构及其SERS特性

• 作者: 刘日 曹亮 王作斌 翁占坤 蒋旭珂
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光干涉向后转移技术 微米点阵结构 金纳米粒子 表面增强拉曼散射
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 405-414
• 页数: 10页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20202802.0405

摘要

为了提高激光诱导向后转移制备微纳阵列结构的效率,本文提出三光束激光干涉诱导向后转移(LIIBT)技术,为激光干涉技术与激光诱导向后转移的有机结合.本文以ITO玻璃为接收衬底,金薄膜为靶材,LIIBT过程中采用三光束激光干涉进行加工.SEM结果表明,在激光能量密度为25 mJ/cm2,金膜厚度为50 nm条件下,获得了较好的阵列结构,周期为5μm,金纳米粒子均匀分布在其表面,尺寸小于100 nm的粒子达到80％ 以上.EDX分析结果表明微米尺度点阵由大量的In元素组成,该结构的形成源于激光与ITO层相互作用.将1.0×10-5,1.0×10-7和1.0×10-9M的罗丹明6G溶液,旋涂于微结构表面并进行拉曼光谱研究,在612 cm-1,773 cm-1,1190 cm-1,1319 cm-1和1511 cm-1处发现了罗丹明6G的特征峰,说明制备的金纳米结构对微量的罗丹明6G有明显的SERS效应.本文提出的LIIBT技术将大大提高激光诱导向后转移制备微纳阵列结构的效率,在超灵敏检测、光电子器件、微流控等领域均具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁占坤	长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心	11	65	3.0	7.0
2	王作斌	长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心	15	3	1.0	1.0
3	曹亮	长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心	6	13	2.0	3.0
4	蒋旭珂	长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心	1	0	0.0	0.0
5	刘日	长春理工大学国家纳米操纵与制造国际联合研究中心	1	0	0.0	0.0