热波探针在离子注入表征上的应用

• 作者: 张蕊
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 热波探针 角度 剂量 均一性
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 3635字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2020.0809

摘要

离子注入工艺稳定性的多个表征方法中,热波探针法快速、灵敏且无损,可用于离子注入工艺角度、注入剂量及均一性的表征.介绍了热波探针应用的理论依据和数据实例,并结合数据实例研究了热波探针法的应用特点和规律.当热波探针应用于离子注入角度表征时,需要保证前期机械校准的有效性及隧穿效应敏感区角度的选用.当应用于剂量准确性和均一性表征时,则需要将注入剂量控制在中、低等剂量范围内,避开隧穿效应敏感区,还需有效规避热晶圆效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张蕊		1	0	0.0	0.0