面向5G的MEMS跷跷板结构功率传感器

• 作者: 易真翔 钱文轩
• 来源期刊: 移动通信
• 学科: 工学
• 关键词: 5G 微机械MEMS 功率传感器 跷跷板
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.5
• 字数: 916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1010.2020.03.016

摘要

为了解决5G功率传感器灵敏度不高的问题,创新性地提出一种可面向5G应用的MEMS跷跷板结构功率传感器.S参数测试结果表明,在1 GHz—10 GHz的频段内传感器的回波损耗小于-12.5 dB,插入损耗小于1.5 dB.功率响应测试表明,内部电容的灵敏度接近69.2aF/mW@1GHz、71.5aF/mW@5GHz和66.3aF/mW@10GHz,外部电容的灵敏度约为35.2aF/mW@1GHz、33.0aF/mW@5GHz和27.6aF/mW@10GHz,表明该跷跷板结构设计提高了传感器的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱文轩	中国联合网络通信有限公司网络技术研究院	4	0	0.0	0.0
2	易真翔		1	0	0.0	0.0