基于等离子体在磁控溅射增强的模拟

• 作者: 周艳文 张绪跃 武俊生 王晓明 鄂东梅
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 磁控溅射 离子分布
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 5-10
• 页数: 6页
• 分类号: O411.3|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.03.02

摘要

磁控溅射为代表的真空法已经成为制备薄膜的主流方法,磁场分布、等离子体密度分布及其温度等因素会直接影响到薄膜的质量.因此,选择合适的模型研究磁控溅射过程中气体放电时等离子体粒子以及电子分布非常重要.本文根据气体放电的基本原理,对圆柱形溅射装置采用流体模型,以电子、离子、亚稳态离子和中性粒子为主要粒子的等离子体建立物理模型,采用有限差分方法对所建立的模型,利用计算机编程数值模拟了直流溅射系统内气体放电的过程得到等离子体粒子的分布以及电子温度分布特性的模拟结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓明	辽宁科技大学表面工程研究所	13	15	3.0	3.0
2	周艳文	辽宁科技大学表面工程研究所	46	32	3.0	5.0
3	鄂东梅		10	6	1.0	1.0
4	武俊生	辽宁科技大学表面工程研究所	4	0	0.0	0.0
5	张绪跃	辽宁科技大学表面工程研究所	2	0	0.0	0.0