基于BSO算法的SiO2沉积速率控制

• 作者: 沈景凤 王叶馨
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电子枪 沉积速率 天牛须搜索-粒子群算法(BSO) PID 遗传算法
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 页码范围: 490-494
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 2819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.03.003

摘要

为了提高SiO2薄膜质量,将晶振膜厚控制仪用于沉积速率采集,采用闭环反馈控制电子枪灯丝两端电压,利用Ziegler-Nichols整定经验法确定PID参数范围,并通过天牛须搜索-粒子群算法(BSO)实现参数自整定,从而改变电子束束流大小,实现薄膜沉积速率的稳定控制;实验结果表明,在本控制系统下,沉积速率在4s左右建立稳态且波形无明显振荡,相比于遗传算法,BSO算法全局搜索能力更强,该方法可用于电子束蒸发镀膜过程中不同靶材沉积速率的控制,可进一步提高薄膜表面均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈景凤	上海理工大学机械工程学院	88	289	8.0	13.0
2	王叶馨	上海理工大学机械工程学院	1	0	0.0	0.0