两种Ge-Sb-Se薄膜的光学性质及微观结构

• 作者: 宋宝安 张培晴 戴世勋 林常规 潘磊 肖传富
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 红外硫系薄膜 柯西模型 光学性质 微观结构
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 169-179
• 页数: 11页
• 字数: 4817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.69.20200145

摘要

提出一种综合利用区域逼近法和柯西拟合法精确获取Ge20Sb15Se65薄膜和Ge28Sb12Se60薄膜透射光谱范围内任意波长处折射率与色散的多点柯西法,并从理论上证明了该方法的准确性.实验上,采用磁控溅射法制备了这两种Ge—Sb—Se薄膜,利用傅里叶红外光谱仪测得了透射光谱曲线,运用分段滤波的方法去除噪声,然后使用多点柯西法得到了这两种薄膜在500—2500 nm波段的折射率、色散、吸收系数和光学带隙.结果表明Ge28Sb12Se60薄膜的折射率和吸收系数大于Ge20Sb15Se65薄膜,Ge28Sb12Se60薄膜的光学带隙小于Ge20Sb15Se65薄膜.最后,利用拉曼光谱对两种薄膜的微观结构进行了表征,从原子之间的键合性质解释了这两种硫系薄膜不同光学性质的原因.