绿色制造模式下多品硅关键生产工艺提升研究

• 作者: 公静 王子帅 祁麟 黄贞静
• 来源期刊: 信息技术与标准化
• 关键词: 多晶硅 改良西门子法 绿色制造
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 新一代信息技术与标准化专题
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

针对国内外主流的改良西门子法多晶硅制备工艺存在的高能耗、低效率、投资成本高等问题,引入绿色制造理念与技术,采用先进冷氢化技术、多晶硅生产线资源再利用技术及不凝气深度回收技术等技术,对多晶硅生产设备、技术、回收利用等制备环节进行改善,实现工艺优化、节能降耗、减轻污染和质量提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	公静		10	38	3.0	6.0
2	祁麟		4	1	1.0	1.0
3	王子帅		4	0	0.0	0.0
4	黄贞静		4	0	0.0	0.0