二维WS2薄膜的制备及光电特性

• 作者: 丁馨 徐铖 朱静怡 许珂 马锡英
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硫化钨(WS2)薄膜 化学气相沉积(CVD)法 WS2/Si异质结 光电特性 温度效应
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 366-371
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.05.005

摘要

以硫化钨(WS2)水溶液为原料、氩气为携载气体、利用化学气相沉积(CVD)法在硅衬底上制备了二维WS2薄膜,并研究了其形貌、晶体结构、光吸收特性及光电特性等.发现利用该方法生长的WS2薄膜非常光滑均匀,并具有良好的结晶性.另外,发现WS2薄膜不仅在466 nm处有很强的蓝光发射,还在617和725 nm处有显著的红光发射,前者可能是由于量子尺寸效应引起的分立能级的发光,后者则分别对应WS单层和多层的本征发射.最后,研究了WS/Si异质结的光电效应和温度效应,发现随照射光功率或温度的增加,异质结的电流显著增大,说明WS2/Si异质结对光照和温度非常敏感,可用于制备太阳电池和光探测器等新型光电子器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马锡英	苏州科技大学数理学院	34	79	6.0	7.0
2	许珂	苏州科技大学数理学院	7	0	0.0	0.0
3	丁馨	苏州科技大学数理学院	4	0	0.0	0.0
4	徐铖	苏州科技大学数理学院	8	0	0.0	0.0
5	朱静怡	苏州科技大学数理学院	1	0	0.0	0.0