PZT/NFO/LSMO多层磁电外延薄膜微观结构研究

• 作者: 刘勇 汪川慧 王怀兴 祁红艳 邓永菊
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 化学
• 关键词: PZT/NFO/LSMO外延薄膜 TEM 微观结构 脉冲激光沉积 磁电耦合 生长模式
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 10-13,19
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|O614.8
• 字数: 1970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.01.002

摘要

用脉冲激光沉积法在(110)取向的SrTiO3(STO)单晶衬底上制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/NiFe2O4/La0.7Sr0.3MnO3(PZT/NFO/LSMO)磁电复合外延薄膜,并用X射线衍射和透射电镜技术研究了外延薄膜的物相和显微结构.原子力显微镜结果表明PZT、NFO和LSMO薄膜表面均平整,晶粒尺寸分布均匀,表面粗糙度分别为1.8,1.7和0.2 nm.X射线衍射、选区电子衍射和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)测试结果均证明各层薄膜沿(110)STO衬底外延生长,其外延关系为(110)PZT//(110)NFO//(110)LSMO//(110)STO和[001]PZT//[001]NFO//[001]LSMO//[001]STO.HRTEM结果显示,NFO/LSMO界面和LSMO/STO界面平整外延性好,无缺陷,而PZT/NFO界面较粗糙;NFO薄膜表面呈锯齿状,锯齿状面为立方NFO的能量最低{111}面,而PZT薄膜表面呈岛状,进一步的显微结构分析认为PZT薄膜为层状-岛状生长模式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓永菊	湖北第二师范学院物理与机电工程学院信息科学与技术研究院	18	30	4.0	4.0
2	王怀兴	湖北第二师范学院物理与机电工程学院信息科学与技术研究院	21	37	4.0	5.0
3	祁红艳	湖北第二师范学院物理与机电工程学院信息科学与技术研究院	6	0	0.0	0.0
4	刘勇	湖北第二师范学院物理与机电工程学院信息科学与技术研究院	15	5	1.0	1.0
5	汪川慧	湖北第二师范学院物理与机电工程学院信息科学与技术研究院	1	0	0.0	0.0