Ptychography相位成像及其关键技术进展

• 作者: 刘海岗 刘诚 朱健强 潘兴臣 陶华
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 成像系统 相位恢复 相干衍射成像 层叠扫描相干衍射成像 迭代计算
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: “计算光学成像”专题
• 页码范围: 157-174
• 页数: 18页
• 分类号: O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.0111010

摘要

Ptychography是近些年快速发展起来的一种新型相位恢复技术,通过对待测样品以小于照明光直径的步长扫描后,利用迭代计算可以重建出照明光和样品复振幅分布,是一种理论分辨率为衍射极限的非透镜相位成像技术.虽然其提出初期受限于基本假定条件,但近些年随着相关研究的跟进,人们对Ptychography算法特性的理解逐渐深入,算法也日趋成熟,在可见光、X射线和电子束等领域已被广泛应用于相位成像、波前诊断和光学计量,因此针对影响重建过程和精度的关键因素,如模态多样化、扫描误差、光斑误差、距离误差、样品厚度不可忽略等进行了总结,并讨论了针对上述问题的关键技术进展.